雙級(jí)旋片真空泵的工作原理和適用特點(diǎn)分析

瀏覽次數(shù)：6036發(fā)布日期：2023-03-02

　　雙級(jí)旋片真空泵由兩個(gè)工作室組成，兩室前后串聯(lián)，同向等速旋轉(zhuǎn)；一般流程中被抽氣體由進(jìn)氣口進(jìn)入高真空級(jí)，經(jīng)過高真空級(jí)壓縮后再經(jīng)通道進(jìn)入到低真空級(jí)再度進(jìn)行壓縮；但在抽氣剛開始時(shí)，一般情況下真空室的壓力本身較高，被抽氣體經(jīng)過高真空級(jí)壓縮后因增幅過大會(huì)早早達(dá)到排氣壓力，此時(shí)壓縮氣體會(huì)由輔助排氣閥排出一部分，另外一部分繼續(xù)進(jìn)入低真空級(jí)進(jìn)行壓縮排放；抽到一定程度后，進(jìn)氣壓力變小，這時(shí)經(jīng)過高真空級(jí)壓縮后的氣體壓力會(huì)低于輔助排氣閥的開啟壓力，這時(shí)輔助排氣閥就會(huì)關(guān)閉，氣體會(huì)全部經(jīng)通道進(jìn)入低真空級(jí)壓縮后排出。

　　雙級(jí)旋片真空泵的特點(diǎn)；

　　l、該泵是抽除氣體的基本設(shè)備之一，它可單獨(dú)使用，也可與增壓泵、擴(kuò)散泵、分子泵等超高真空泵連接在一起作為前級(jí)泵使用，廣泛用于電子器件制造、真空干燥、過濾、浸漬、涂膜、焊接、冶煉及實(shí)驗(yàn)室裝備等。

　　2、真空泵在環(huán)境溫度5℃～40℃范圍內(nèi)，進(jìn)氣口壓強(qiáng)小于10托的條件下，允許長期運(yùn)轉(zhuǎn)，被抽氣體相對(duì)溫度大于90%時(shí)，應(yīng)開氣鎮(zhèn)閥。

　　3、真空泵進(jìn)氣口連續(xù)敝通大氣運(yùn)轉(zhuǎn)不得超過3分鐘.

　　4、真空泵不適用于抽除對(duì)金屬有腐蝕的、對(duì)泵油起化學(xué)反應(yīng)的、含有顆粒塵埃的氣體，以及含氧過高的、爆炸性的、有毒的氣體。

　　雙級(jí)旋片真空泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個(gè)轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切（二者有很小的間隙），轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的二個(gè)旋片，將定子分隔成兩個(gè)工作腔（高、低級(jí)工作腔），旋轉(zhuǎn)時(shí)，雙級(jí)旋片式真空泵靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內(nèi)壁保持接觸，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動(dòng)，使得高級(jí)工作腔容積周期性擴(kuò)大而吸氣，低級(jí)工作腔容積周期性縮小而壓縮氣體，借助氣體和油的壓力推開排氣閥排氣，從而獲得真空。當(dāng)吸入壓力較高時(shí)（例如從大氣壓開始吸氣），氣體在高級(jí)腔被壓縮，壓力急增，則被壓縮的氣體的一部分直接從輔助排氣閥排出，另一部分氣體經(jīng)壓縮后通過中壁內(nèi)的級(jí)間通道進(jìn)入低級(jí)腔，再次壓縮后從低級(jí)排氣閥排出，此時(shí)高低級(jí)腔同時(shí)排氣；當(dāng)吸入壓強(qiáng)較低時(shí)（例如泵工作一段時(shí)間之后），氣體由吸氣口進(jìn)入高級(jí)腔，氣體在高級(jí)腔內(nèi)壓縮所產(chǎn)生的壓力不足以推開輔助排氣閥而直接通過級(jí)間通道進(jìn)入低級(jí)工作腔，再次壓縮后從低級(jí)排氣閥排出。

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